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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPS63112(A)
申请公布日期
1988.01.05
申请号
JP19860144109
申请日期
1986.06.19
申请人
ROHM CO LTD
发明人
ISHII HIROYOSHI
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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