发明名称 MANUFACTURE OF DIELECTRIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS63905(A) 申请公布日期 1988.01.05
申请号 JP19860141937 申请日期 1986.06.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KUWATA JUN;FUJITA YOSUKE;TODA TAKAO;ABE ATSUSHI;MATSUOKA TOMIZO
分类号 C04B35/00;C04B35/495;C23C14/34;H01B3/00 主分类号 C04B35/00
代理机构 代理人
主权项
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