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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS63474(A) 申请公布日期 1988.01.05
申请号 JP19860143250 申请日期 1986.06.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KODERA KOICHI;OOTA TAKEO;MATSUBARA KUNIHIRO;INOUE ISAMU;AKIYAMA TETSUYA
分类号 C23C14/54;G01B11/06;G01N21/45;H01L21/31 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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