发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS63478(A) 申请公布日期 1988.01.05
申请号 JP19860143351 申请日期 1986.06.19
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NAKAO MASAO
分类号 C23C16/48;H01L21/285 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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