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经营范围
发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS63478(A)
申请公布日期
1988.01.05
申请号
JP19860143351
申请日期
1986.06.19
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
NAKAO MASAO
分类号
C23C16/48;H01L21/285
主分类号
C23C16/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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