| 发明名称 |
APPARATUS FOR TRANSFERRING WAFER TYPE OBJECT AND SUPPLYING IT TO AT LEAST ONE TREATMENT PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62295421(A) |
申请公布日期 |
1987.12.22 |
| 申请号 |
JP19870083696 |
申请日期 |
1987.04.04 |
| 申请人 |
MATERIALS RES CORP |
发明人 |
SUTEIIBUN DEII HAAUITSUTO;MIROSURABU ERAA;RICHIYAADO II BIIRU |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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