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发明名称
VERFAHREN ZUR MEHRFACHEN TEMPERATURBEHANDLUNG VON SILIZIUMSCHEIBEN
摘要
申请公布号
DD252469(A1)
申请公布日期
1987.12.16
申请号
DD19850279004
申请日期
1985.07.26
申请人
VEB HALBLEITERWERK,DD
发明人
RITTER,GEORG,DD;KOSCHACK,BAERBEL,DD;PENNDORF,JUERGEN,DD
分类号
H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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