发明名称 METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING CIRCUIT BOARD
摘要
申请公布号 JPS62282250(A) 申请公布日期 1987.12.08
申请号 JP19860316053 申请日期 1986.12.27
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 FURANKU PATORITSUKU HIGINZU;ISURAERU AMIA;UIRIAMU SHII BARUCHIYUNASU
分类号 H01L21/66;G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;G06T7/00;H05K13/08 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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