发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING CIRCUIT BOARD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS62282250(A) |
申请公布日期 |
1987.12.08 |
申请号 |
JP19860316053 |
申请日期 |
1986.12.27 |
申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
FURANKU PATORITSUKU HIGINZU;ISURAERU AMIA;UIRIAMU SHII BARUCHIYUNASU |
分类号 |
H01L21/66;G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;G06T7/00;H05K13/08 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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