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发明名称
摘要
申请公布号 JPS62503049(A) 申请公布日期 1987.12.03
申请号 JP19860502093 申请日期 1986.04.03
申请人 发明人
分类号 G01B11/00;G01B11/03;G03B41/00;G03F1/08;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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