| 发明名称 |
ELECTRON BEAM PROBING SYSTEM EMPLOYING TEST DEVICE WITH MUTUALLY GEARED CONDUCTOR PATTERNS AND APPLICATION OF THE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62273746(A) |
申请公布日期 |
1987.11.27 |
| 申请号 |
JP19870106201 |
申请日期 |
1987.04.28 |
| 申请人 |
PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV |
发明人 |
JIYAN DAAKU REIMAA;BUIKUTAA RENOSU AKIRASU |
| 分类号 |
H01L21/66;G01Q30/02;G01R31/26;G01R31/302;G01R31/305;G01R31/3183;H01J37/28 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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