发明名称 A PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF A III-V SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 GB2190791(A) 申请公布日期 1987.11.25
申请号 GB19870007321 申请日期 1987.03.26
申请人 THE * PLESSEY COMPANY PLC 发明人 ROGER CARLTON * HAYES
分类号 H01L21/285;H01L21/335;H01L21/338;H01L21/768;H01L29/72;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/808;(IPC1-7):H01L21/18 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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