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发明名称 VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DD251854(A1) 申请公布日期 1987.11.25
申请号 DD19840264965 申请日期 1984.07.05
申请人 VEB WERK FUER FERNSEHELEKTRONIK,DD 发明人 LIECKE,THOMAS,DD;JANIETZ,PETER-JOHANNES,DD;SUKALE,RALF,DD
分类号 H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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