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发明名称
摘要
申请公布号	JPS62502925(A)	申请公布日期	1987.11.19
申请号	JP19860502918	申请日期	1986.05.09
申请人		发明人
分类号	H01J37/317;H01J37/30;H01L21/027;H01L21/265;H01L21/30	主分类号	H01J37/317
代理机构		代理人
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