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发明名称 NEGATIVE COPY PRODUCTION USING 1,2-QUINONE DIAZIDES
摘要
申请公布号 AU567353(B2) 申请公布日期 1987.11.19
申请号 AU19840030502 申请日期 1984.07.11
申请人 HOECHST A.G., 发明人 PAUL STAHLHOFEN
分类号 G03F7/038;G03C1/52;G03C5/00;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/52;G03C1/60;G03C5/50;G03F7/08;G03F7/12;H05K3/06 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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