| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR EVALUATING BOTH THICKNESS AND COMPOSITIONAL VARIABLES IN A LAYERED OR THIN FILM SAMPLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0163466(A3) |
申请公布日期 |
1987.11.04 |
| 申请号 |
EP19850303510 |
申请日期 |
1985.05.20 |
| 申请人 |
THERMA-WAVE INC. |
发明人 |
ROSENCWAIG, ALLAN;OPSAL, JON |
| 分类号 |
G01N25/00;G01B11/06;G01N21/17;G01N21/21;G01N21/55;G01N25/18;G01N25/72;G01N29/00;(IPC1-7):G01B11/06;G01B17/00 |
主分类号 |
G01N25/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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