发明名称
摘要
申请公布号 JPS62170656(U) 申请公布日期 1987.10.29
申请号 JP19860057948U 申请日期 1986.04.17
申请人 发明人
分类号 G01K7/02;H01L35/02;H01L35/28;(IPC1-7):H01L35/28 主分类号 G01K7/02
代理机构 代理人
主权项
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