超高真空自动阀门-液压驱动

摘要

一种用于无油高真空或超高真空系统的自动阀门。其特征在于：阀盖采用真空性能良好的软性材料，例如，可以用无氧铜、氟橡胶；阀座由两个斜面构成刀口，顶端制成具有一定曲率半径的R，以充分保证阀门的密封性能。阀门的驱动方式采用液压，配置了一台小型液压驱动装置，通过调节调压阀，可以很方便地改变轴向压力的大小，这样就增加了阀门应用的灵活性，可使阀门工作于高真空或超高真空状态。该阀门的特点是启闭速度快，控点准确。

主权项

1、一种用于无油高真空或超高真空系统的自动阀门，由阀体、阀门及阀门的操作部分所组成，其特征是阀门的操作部分采用活塞式液压缸，阀门部分直接通过阀杆10与活塞相连接，该部分由不锈钢波纹管9形成可活动的密封结构。阀头8与阀体7上的其轴向截面有两条斜线构成呈刀口状的阀座间有软性材料做成的阀盖6，以形成良好的密封。