FORMATION OF TITANIUM NITRIDE OR ZIRCONIUM NITRIDE COATINGS.

摘要

Compositions de revêtements à base de nitrure de titane et de nitrure de zirconium polycristallins et articles revêtus, présentant un rapport d'intensité de diffraction de rayons x I(111)/I(200) égal à au moins 75 pour la composition à base de nitrure de titane et d'au moins environ 15 pour la composition à base de nitrure de zirconium, et procédé de formation d'une composition de revêtement à base de nitrure de titane ou de nitrure de zirconium polycristallin hautement orientés présentant un rapport élevé d'intensité de diffraction de rayons x I(111)/I(200). L'invention se rapporte également à des compositions de revêtements à base de nitrure de titane et de nitrure de zirconium polycristallins et à des articles revêtus du type décrits présentant un écartement interplanaire, d111, inférieur ou égal à 2,460 Angstroms pour le TiN et un écartement interplanaire, d111, égal ou inférieur à 2.660 Angstroms pour le ZrN et à des procédés de production de ces compositions. Ces dernières sont déposées sur un substrat dans une chambre sous vide (11) à partir d'une source cathodique de titane de zirconium (15) entourée par un organe allongé (36) qui surplombe la cathode pour former une chambre de cathode. De l'azote à l'état gazeux (39) traverse la chambre de cathode et s'écoule dans la chambre sous vide.