氧化锡薄膜气敏元件

摘要

在氧化锡薄膜气敏元件中，用CuK作为射线源进行气体检测表面的单晶取向性和结晶性的X线衍射时，设其最强衍射线强度为I₁，第二、第三、第四和第五强的衍射线强度分别为I₂、I₃、I₄和I₅，此时，这些衍射线强度的两者或三者之间有一种特定的数值关系，而且最强衍射线强度的半值宽度大于某一特定值。

主权项

1、氧化锡薄膜气敏元件的特征如下：在氧化锡薄膜气敏元件中，用CuK作为射线源对气体检测表面的单晶取向性和结晶性作X线衍射时，设最强衍射线强度为I1，第二、第三、第四和第五强的衍射线强度分别为I2、I3、I4和I5，这时(a)(211)面或者(110)面的线强度最强，I2/I1≤0.6，I1的半值宽度大于0.58；或者(b)I1是(110)面或(101)面的线强度，I2为(101)面或(110)面的线强度。I2/I1≥0.5，I3/I2＜0.6，I1的半值宽度大于0.54；或者(c)I1是(110)面或者(211)面的线强度，I2是(101)面或(110)面的线强度，I2/I1≥0.5，I3/I2＜0.6，I1的半值宽度大于0.58；或者(d)I1、I2、和I3分别为(110)面、(101)面和(211)面的任何一面的线强度，I3/I1≥0.5，I4/I3＜0.6，I1的半值宽度大于0.61；或者(e)I1、I2、I3和I4分别为(110)面、(101)面、(211)面和(301)面中任一面的线强度，I4/I1≥0.5，I5/I4＜0.6，I1的半值宽度大于0.73；或者(f)I1为(301)面的线强度，I2/I1≤0.6，I1的半值宽度大于0.60；或者(g)I1为(211)面或(301)面的线强度，I2为(301)面或(211)面的线强度，I2/I1≥0.5，I3/I2＜0.6，I1的半值宽度大于0.3。