| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING A SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING A SELECTIVE VAPOUR GROWTH TECHNIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0147913(A3) |
申请公布日期 |
1987.10.14 |
| 申请号 |
EP19840305652 |
申请日期 |
1984.08.20 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
MORIYA, TAKAHIKO C/O PATENT DIVISION;NAKADA, SABURO C/O PATENT DIVISION |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L29/417;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/60 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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