发明名称 GROOVING PROCESSING MACHINERY
摘要
申请公布号 JPS62222806(A) 申请公布日期 1987.09.30
申请号 JP19860065928 申请日期 1986.03.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TSUMAGARI TAKASHI
分类号 H01L21/301;B28D5/00 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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