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发明名称 SYSTEM FOR GENERATING UNIFORM GAS FLOW IN A PLASMA REACTOR CHAMBER
摘要
申请公布号 EP0188207(A3) 申请公布日期 1987.09.30
申请号 EP19860100108 申请日期 1986.01.07
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LO, JOHN CHOUNG-LIN;LU, NENG-HSING
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05K3/00;(IPC1-7):H01J37/32;C23C14/34;C23C16/50 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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