发明名称 |
INDUCTION HEATING COIL FOR LIFTING-UP ZONE OF CRYSTAL ROD WHERE CRUCIBLE DOES NOT EXIST |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS62222594(A) |
申请公布日期 |
1987.09.30 |
申请号 |
JP19870016305 |
申请日期 |
1987.01.28 |
申请人 |
WACKER CHEMITRONIC GES |
发明人 |
BUIRUFURIITO FUON AMON;HAINTSU KURINGAA |
分类号 |
C30B13/18;C30B13/20;H01L21/18;H01L21/208;H05B6/30;H05B6/36 |
主分类号 |
C30B13/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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