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发明名称 HIGH CONTRAST PHOTORESIST DEVELOPER WITH ENHANCED SENSITIVITY
摘要
申请公布号 EP0209153(A3) 申请公布日期 1987.09.30
申请号 EP19860109898 申请日期 1986.07.18
申请人 PETRARCH SYSTEMS, INC. 发明人 ZUBA, VALENTINE THEODORE;OWENS, ROBERT AUSTIN;FERGUSON, SUSAN ANTOINETTE;CHIN, ROLAND LEE;LEWIS, JAMES MARVIN
分类号 G03C1/72;G03F7/30;G03F7/32;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
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