Cut-off filter for integrated optics.

摘要

Kantenfilter für die integrierte Optik in Form eines reliefartigen Oberflächengitters (4) auf einem Schicht- oder Streifenwellenleiter (2). Bei einem bekannten Filter dieser Art wird die Kantenfiltereigenschaft durch eine Variation der Korrugationstiefe und -periode des Gitters entsprechend einer vorgegebenen mathematischen Funktion erreicht. Es soll ein einfach herstellbares Kantenfilter der genannten Art angegeben werden. Dies wird dadurch erreicht, daß das Gitter (4) in einem Bereich (L) verminderter Schichtdicke (d) des Wellenleiters (2) ausgebildet ist und eine konstante Korrugationstiefe (t) aufweist. Das Gitter kann einfach durch unveränderters Absenken eines Gitters an der Oberfläche eines Schicht- oder Streifenwellenleiters mit Hilfe eines anisotrop wirkenden Ätzmittels hergestellt werden. Die durch das Absenken entstehenden Einfügeverluste können durch Aufbringen einer geeigneten abdeckenden Schicht auf den Wellenleiter vermindert werden.