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发明名称 VERFAHREN ZUR IONENSTRAHLNEUTRALISATION
摘要
申请公布号 DD250209(A1) 申请公布日期 1987.09.30
申请号 DD19860291584 申请日期 1986.06.24
申请人 VEB HALBLEITERWERK,DD 发明人 ROTHE,RALF,DD
分类号 H01L21/265;H01L21/425;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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