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发明名称
摘要
申请公布号
JPS62151739(U)
申请公布日期
1987.09.26
申请号
JP19860039214U
申请日期
1986.03.18
申请人
发明人
分类号
C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
C23F1/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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