| 摘要 |
Dans le capteur d'accélération (11), la plaque de flexion est une plaque de substrat sous tension d'un côté, et est constituée par exemple en Al2O3. De cette manière, les résistances (18) et le circuit d'évaluation (20) peuvent être agencés conjointement sur le ressort flexible (12) et peuvent être appliqués en une seule opération en utilisant la technique du film épais. Les coûts d'emballage sont minimes. La conception du capteur d'accélération facilite l'assemblage et permet d'obtenir un produit à un prix avantageux. |
