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发明名称 IMAGE DISTORTION-FREE, IMAGE ROTATION-FREE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0068896(B1) 申请公布日期 1987.09.09
申请号 EP19820303426 申请日期 1982.06.30
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SHII, KAZUO;KOBAYASHI, HIROYUKI;KUBOZOE, MORIOKI;ISAKOZAWA, SHIGETO
分类号 H01J37/141;H01J37/04;H01J37/10;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/26 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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