发明名称 |
METHOD OF FORMING CONTIGUOUS SELF-ALIGNED IMPLANTED SEMICONDUCTOR REGIONS AND METHOD OF FORMING AN INTEGRATED CMOS STRUCTURE |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP0127335(B1) |
申请公布日期 |
1987.09.02 |
申请号 |
EP19840302894 |
申请日期 |
1984.04.30 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
GENDA, JAMES HU |
分类号 |
H01L21/265;H01L21/033;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|