发明名称 METHOD OF FORMING CONTIGUOUS SELF-ALIGNED IMPLANTED SEMICONDUCTOR REGIONS AND METHOD OF FORMING AN INTEGRATED CMOS STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0127335(B1) 申请公布日期 1987.09.02
申请号 EP19840302894 申请日期 1984.04.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GENDA, JAMES HU
分类号 H01L21/265;H01L21/033;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/76 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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