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发明名称 APPARATUS FOR OBTAINING HOMOGENOUS CD HG TE FILMS ON HETEROSUBSTRATES
摘要
申请公布号 PL141669(B2) 申请公布日期 1987.08.31
申请号 PL19860257453 申请日期 1986.01.10
申请人 发明人
分类号 G01J;G01J5/12;H01L21/10;H01L31/18;(IPC1-7):H01L21/10 主分类号 G01J
代理机构 代理人
主权项
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