发明名称 PROCEDIMENTO PER LA DEPOSIZIONE SENZA CORRENTE DI METALLI O SEMI-CONDUTTORI
摘要
申请公布号 IT1177814(B) 申请公布日期 1987.08.26
申请号 IT19840048429 申请日期 1984.06.20
申请人 LABORATORIE SUISSE DE RECHERCHES HORLOGERES 发明人 OLAJ OSKAR FRIEDERICH
分类号 C23C18/16;C23C18/52;H01L21/288;(IPC1-7):H01C/ 主分类号 C23C18/16
代理机构 代理人
主权项
地址