发明名称 VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG VON SILICIUMCARBID
摘要
申请公布号 DE3603725(A1) 申请公布日期 1987.08.13
申请号 DE19863603725 申请日期 1986.02.06
申请人 SIEMENS AG 发明人 STEPHANI,DIETRICH,DR.;LANIG,PETER;ZIEGLER,GUENTHER,DR.
分类号 C23F4/00;H01L21/04;(IPC1-7):H01L21/308;G03F7/00;C23C14/34;C23F1/02 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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