METHOD AND APPARATUS FOR NONDESTRUCTIVELY DETERMINING THE CHARACTERISTICS OF A MULTILAYER THIN FILM STRUCTURE.

摘要

La détermination non destructive des caractéristiques de chacune des couches (dn) d'une structure multi-couches à film mince (25) est obtenue en dirigeant un premier faisceau d'une radiation (40) dans un coupleur optique (37) ayant une base (38) en contact avec la surface de la structure (25). L'angle d'incidence du faisceau entrant dans le coupleur est tel que le faisceau est réfléchi par la base avec une composante d'ondes évanescentes venant du coupleur et se couplant dans la structure multi-couches à film mince sous la forme d'un faisceau réel. Le faisceau réel est réfléchi par les couches de la structure à film mince (25) et il est renvoyé dans le coupleur (37) où il se combine avec le faisceau (51) réfléchi par la base et sort du coupleur avec une intensité en rapport avec les caractéristiques des couches de la structure. Un servomoteur (46) fait tourner le coupleur pour que ce dernier soit balayé par le premier faisceau et un détecteur (50) détecte l'intensité des faisceaux combinés sortant du coupleur pendant leur balayage effectué par le premier faisceau. Un ordinateur (60) compare l'intensité de réflectance détectée par le détecteur à l'intensité de réflectance des structures ayant des caractéristiques connues dans le but de déterminer les caractéristiques de la structure multi-couche à film mince (25).