| 发明名称 |
METHOD OF DEPOSITING SILICON FILMS WITH REDUCED STRUCTURAL DEFECTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0171241(A3) |
申请公布日期 |
1987.08.12 |
| 申请号 |
EP19850305352 |
申请日期 |
1985.07.26 |
| 申请人 |
UNISYS CORPORATION |
发明人 |
WONSOWICZ, CASIMIR JOHN;CANFIELD, GLENN ROSS |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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