| 发明名称 |
FORMATION OF SILICON OXIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62177931(A) |
申请公布日期 |
1987.08.04 |
| 申请号 |
JP19870000958 |
申请日期 |
1987.01.06 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICDS INC |
发明人 |
YUNGU CHIYAU IEN |
| 分类号 |
H01L21/316;C01B33/00;C23C8/10;C23C8/12;C23C8/24;C23C8/34;C23C16/24;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/32;H01L21/321;H01L21/334;H01L21/60;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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