发明名称
摘要
申请公布号 JPS62121550(U) 申请公布日期 1987.08.01
申请号 JP19860009030U 申请日期 1986.01.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01N23/20;(IPC1-7):G01N23/20 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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