发明名称 MICROSCOPIO ELECTRONICO DE EFECTO AUGER DE EXPLORACION DE EMISION DE CAMPO
摘要 MICROSCOPIO ELECTRONICO DE EFECTO AUGER. COMPRENDE UNA BRIDA (1) CON UN SOPORTE (2) SOBRE EL QUE ESTA SUSPENDIDO EL BASTIDOR (3); RESORTES (4, 5); UN MODULO (6) DE ACCIONAMIENTO EN TRES EJES (X, Y, Z); UN BRAZO SUPERIOR (8) DEL BASTIDOR (3) EN EL QUE HAY UNA FUENTE (9) DE EMISION DE CAMPO QUE TERMINA EN UNA PUNTA AGUDA (10) SUSPENDIDA POR ENCIMA DE LA SUPERFICIE DE LA MUESTRA (7); Y UN ANALIZADOR (11) DE ENERGIA DE ELECTRONES MANTENIDO SOBRE UN PIE (12) A FIN DE RECOGER LOS ELECTRONES DE EFECTO AUGER EMITIDOS DESDE LA SUPERFICIE DE LA MUESTRA (7) CUANDO ES APLICADO UN POTENCIAL (E). TIENE UTILIDAD PARA LA INVESTIGACION.
申请公布号 ES8705995(A1) 申请公布日期 1987.08.01
申请号 ES20080005513 申请日期 1986.01.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 H01J37/28;H01J37/073;H01J37/256;(IPC1-7):H01J37/26 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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