| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR INTRODUCING NORMALLY SOLID MATERIALS INTO SUBSTRATE SURFACES. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0146595(A4) |
申请公布日期 |
1987.07.30 |
| 申请号 |
EP19840902296 |
申请日期 |
1984.05.24 |
| 申请人 |
LAU, PAULINE Y.;LAU, ROLAND L. |
发明人 |
XU, ZHONG |
| 分类号 |
C23C8/36;C23C14/32;C23C14/48;C23C14/54;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C8/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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