发明名称 ELECTROMAGNETIC LENS POLEPIECE STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP0085323(B1) 申请公布日期 1987.07.29
申请号 EP19830100296 申请日期 1983.01.14
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KIMURA, CHIKARA;YADA, KEIJI
分类号 H01J3/22;H01J37/141;H01J37/244;H01J37/252;(IPC1-7):H01J37/141 主分类号 H01J3/22
代理机构 代理人
主权项
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