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发明名称
摘要
申请公布号 JPS62501809(A) 申请公布日期 1987.07.16
申请号 JP19860500924 申请日期 1986.01.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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