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发明名称 NEGATIV FOTORESISTSAMMENSAETNING OG FREMGANGSMAADE TIL FREMSTILLING AF TERMISK STABILE, NEGATIVE BILLEDER UNDER ANVENDELSE AF SAMMENSAETNINGEN
摘要
申请公布号 DK14087(A) 申请公布日期 1987.07.14
申请号 DK19870000140 申请日期 1987.01.12
申请人 ROHM AND HAAS COMPANY 发明人 FEELY, WAYNE EDMUND
分类号 G03F7/004;G03F7/029;G03F7/038;G03F7/38;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/727 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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