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发明名称
摘要
申请公布号 DE2930290(C2) 申请公布日期 1987.07.09
申请号 DE19792930290 申请日期 1979.07.26
申请人 AT & T TECHNOLOGIES, INC., NEW YORK, N.Y., US 发明人 HARSHBARGER, WILLIAM REID, BETHLEHEM, PA., US;LEVINSTEIN, HYMAN JOSEPH, BERKELEY HEIGHTS, N.J., US;MOGAB, CYRIL JOSEPH, MURRAY HILL, N.J., US;PORTER, ROY ARLIE, WHITEHALL, PA., US
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/82 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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