| 发明名称 |
GAS BEARING TYPE MULTISPINDLE STAGE ASSEMBLY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62152633(A) |
申请公布日期 |
1987.07.07 |
| 申请号 |
JP19860283042 |
申请日期 |
1986.11.27 |
| 申请人 |
KONPAKUTO SPINDLE BEARING CORP |
发明人 |
EDOWAADO ETSUCHI FUIRITSUPUSU |
| 分类号 |
B23Q1/00;B23Q1/38;B23Q1/48;B23Q1/62;G01B11/00;G01B11/03;G03F7/20;G05B19/23;G05B19/401;H01L21/67;H01L21/68 |
主分类号 |
B23Q1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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