发明名称
摘要
申请公布号 JPS62104438(U) 申请公布日期 1987.07.03
申请号 JP19850197957U 申请日期 1985.12.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;C23C16/48;C23C16/54;H01L21/205;H01L21/263;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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