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经营范围
发明名称
Positive type radiation-sensitive resin composition.
摘要
申请公布号
EP0227487(A2)
申请公布日期
1987.07.01
申请号
EP19860310187
申请日期
1986.12.29
申请人
JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO., LTD.
发明人
HOSAKA, YOSHIHIRO;NOZUE, IKUO;TAKATORI, MASASHIGE;HARITA, YOSHIYUKI;HONDA, KIYOSHI
分类号
G03F7/023
主分类号
G03F7/023
代理机构
代理人
主权项
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