发明名称 Positive type radiation-sensitive resin composition.
摘要
申请公布号 EP0227487(A2) 申请公布日期 1987.07.01
申请号 EP19860310187 申请日期 1986.12.29
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO., LTD. 发明人 HOSAKA, YOSHIHIRO;NOZUE, IKUO;TAKATORI, MASASHIGE;HARITA, YOSHIYUKI;HONDA, KIYOSHI
分类号 G03F7/023 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
地址