Verfahren und Vorrichtung zur UEberwachung und Steuerung der Ablagerung eines verdampften Materials auf einer Unterlage innerhalb einer Vakuumbeschichtungsanlage
摘要
申请公布号
DE1298831(B)
申请公布日期
1969.07.03
申请号
DE196400E7968
申请日期
1964.10.15
申请人
EDWARDS HIGH VACUUM INTERNATIONAL LTD.
发明人
IFIELD STECKELMACHER, WALTER,;HILL ENGLISH, JAMES, POUND;SUSSEX CRAWLEY,;ANTHONY BATH, HUGH HENRY
