摘要 |
<p>Bei einer Vorrichtung zum Bearbeiten von elektronischen, elektromechanischen oder mechanischen Bauteilen, insbesondere zum Bearbeiten von beim Herstellen von Halbleiterbauelementen vorhandenen Verbindungsstegen (4) zwischen Anschlußfahnen (3), mittels eines Matrizenblocks (15) und mit dem Matrizenblock (15) zusammenwirkenden Stempeln (20) sollen sowohl der Matrizenblock (15) wie auch die Stempel und/oder deren Stempelführung (16), welche Werkzeuge darstellen, auf einer gemeinsamen Bezugsebene eines Referenzblocks (5) in Richtung x bzw. y bewegbar angeordnet sein. Hierzu sind zwischen Matrizenblock (15) und Stempel bzw. Stempelführung (16) und Referenzblock (5) Gleit- oder Wälzlager angeordnet.</p> |