| 发明名称 |
OPTICAL PROJECTION SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2138163(B) |
申请公布日期 |
1987.06.24 |
| 申请号 |
GB19840002807 |
申请日期 |
1984.02.02 |
| 申请人 |
* CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
AKIYOSHI * SUZUKI;MICHIO * KOHNO |
| 分类号 |
G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G02B27/18 |
主分类号 |
G03B27/32 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
