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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6227746(B2)
申请公布日期
1987.06.16
申请号
JP19800066777
申请日期
1980.05.19
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
ISHIHARA TAKESHI;KAGAWA KEIICHI
分类号
H01L21/76;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/32;H01L21/762
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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