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发明名称
NEGATIVE WORKING ELECTRON BEAM RESIST SYSTEM TO BE DRY-DEVELOPED
摘要
申请公布号
EP0141311(A3)
申请公布日期
1987.06.16
申请号
EP19840112183
申请日期
1984.10.11
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
KAPLAN, LEON H.;KAPLAN, RICHARD DEAN
分类号
H01L21/027;G03F7/038;G03F7/30;G03F7/36;(IPC1-7):G03F7/10
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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